製品概要
PSセンサは、独自の技術による静電容量方式を採用し、高安定・高分解能・汎用性を実現した超精密非接触変位計です。変位・振動・形状・位置検出など幅広い分野に用いられ、コストパフォーマンスを追求した汎用性変位計として高い評価を得ております。
また、地球環境の影響を考慮し、いずれの製品も鉛フリー・RoHS指令に対応しております。
PS-Ⅲシリーズは、複数チャンネルを1台の筐体にまとめ、AC100Vで動作し、各種機能を盛り込んだPSセンサシリーズの決定版です。研究開発用途のみならずシステムへの組込みも可能です。
また、地球環境の影響を考慮し、いずれの製品も鉛フリー・RoHS指令に対応しております。
PS-Ⅲシリーズは、複数チャンネルを1台の筐体にまとめ、AC100Vで動作し、各種機能を盛り込んだPSセンサシリーズの決定版です。研究開発用途のみならずシステムへの組込みも可能です。
測定原理
PSセンサは、下図のように平行平板コンデンサの原理に基づいています。中心電極とターゲット間の静電容量をC、プローブとターゲット間の誘導率をε、距離をg、中心電極面積をAとするとその関係は
の計算式で表すことができます。これを下図のような交流定電流源駆動を行うことにより、出力電圧は
となり、出力は測定ギャップに比例します。
PSセンサでは、ガード電極を中心電極と同電位となるようにドライブすることにより、中心電極部分で平行電場を作り、高い直線性を得ています。
アプリケーション
仕様
ワンタッチで出力をゼロにするリセット機能、NEAR/FAR LED表示機、マルチチャンネル動作機能など、これ一台で様々な用途への応用が可能です。
アンプ仕様 | |
型式 | PS-Ⅲ |
---|---|
基本出力電圧範囲 | 0~10V |
出力端子 | BNCコネクタ |
周波数特性 | DC~1kHz |
使用温度範囲 | 10~40℃ |
電源 | AC100V(付属のACアダプタ使用) |
表中の□□にはヘッド長さ(mm)が入ります。
型式 | 外径(mm) | オフセット(μm) | レンジ(μm) | 分解能(nmrms) | 直線性(%) | プローブ長(mm) | ケーブル長(m) |
---|---|---|---|---|---|---|---|
AX□□-30 | 4 | 10 | 30 | 0.6 | ±0.05 |
5 10 30 |
2(標準) |
AX□□-50 | 10 | 50 | 1.0 | ||||
AX□□-100 | 10 | 100 | 2.0 | ||||
AY□□-50 | 6 | 10 | 50 | 1.0 | |||
AY□□-100 | 10 | 100 | 2.0 | ||||
AY□□-250 | 25 | 250 | 5.0 | ||||
AY□□-500 | 50 | 500 | 10 | ±0.1 | |||
AZ□□-500 | 12 | 50 | 500 | 10 | ±0.05 |
10 30 |
|
AZ□□-1000 | 100 | 1000 | 20 | ±0.1 |
型式構成例
外形寸法 | ||||
型式 | PS-Ⅲ-3N | PS-Ⅲ-2D | PS-Ⅲ-5N | PS-Ⅲ-4D |
---|---|---|---|---|
出力端子 | BNC×3 | BNC×2 | BNC×5 | BNC×4 |
寸法(mm) | 186W×152H×331D | 257W×152H×271D | ||
表示器 | なし | あり | なし | あり |
PS-Ⅲの型式は以下のように決定します。 | ||||
アンプ形式 | チャンネル数 | 表示器の有無 | ||
---|---|---|---|---|
PS-Ⅲ | 2以上 | 表示器有り・・・D | ||
表示器なし・・・N | ||||
4チャンネル表示器付きの場合 | ||||
PS-Ⅲ | – | 4 | D |